Энциклопедический словарь, 1998 г.
частицы очень малой массы; к ним относятся элементарные частицы, атомные ядра, атомы, молекулы.
Примеры употребления слова микрочастицы в литературе.
Удалось найти не просто микрочастицы, а целую щепку от одного из ящиков.
В процессе эволюции Земли, Солнечной системы и даже звездных галактик микрочастицы не уничтожаются, оставаясь как бы неделимыми, частицами-кирпичиками мироздания.
Источник: библиотека Максима Мошкова