Википедия
N-Метилгексаметилдисилазан
N-Метилгексаметилдисилазан — химическое соединение, алкил- и аминопроизводное моносилана с формулой [(CH)Si]NCH, бесцветная жидкость c резким запахом, быстро гидролизуется водой.