Википедия
Трихлорсилан
Трихлорсила́н (ТХС, силан трёххлористый, силана трихлорид, силикохлороформ, трихлормоносилан) — кремнийсодержащее неорганическое соединение, при 20 °C и атмосферном давлении бесцветная легколетучая прозрачная жидкость.