Большая Советская Энциклопедия
Ионно-сорбционный насос
вакуумный насос , в котором химически активные газы удаляются за счёт сорбции их геттерами , а инертные газы ≈ в результате интенсивной ионизации в виде ионов под действием электрического поля. С помощью И.-с. н. достигают разрежения 10-7н/м2 (10-9мм рт. ст.).