Энциклопедический словарь, 1998 г.
электрический разряд в газе, возникающий в электрическом поле высокой частоты. По способу подведения энергии различают: электродный, безэлектродный, одноэлектродный, СВЧразряд в объемных резонаторах и радиоволноводах.
Википедия
Высокочастотный разряд — вид газового разряда , возникающий в присутствии высокочастотного электромагнитного поля .